爆乳一丝丝不挂裸体大胸美女写真-国产成人精品a视频-日韩av无码一区二区三区不卡毛片-公交车被cao得合不拢腿视频

首頁 > 技術(shù)文章 > 技術(shù)干貨| 低介電常數(shù)材料的失效分析

技術(shù)干貨| 低介電常數(shù)材料的失效分析

點擊次數(shù):1778 更新時間:2023-10-11

低介電常數(shù)材料簡介

        低介電常數(shù)材料是指介電常數(shù)較小的材料,通過降低集成電路中使用的介電材料的介電常數(shù),可以降低集成電路的漏電電流、降低導(dǎo)線之間的電容效應(yīng)、降低集成電路發(fā)熱等等,更可以有效提升電子元器件的速度。

如何降低材料的介電常數(shù)?

        既然降低材料的介電常數(shù)有那多好處,那如何降低材料的介電常數(shù)呢?

        降低介電常數(shù)的方法有多種方法,其中一種方法是通過添加一些添加劑來改變材料的物理和化學(xué)性質(zhì),從而降低其介電常數(shù)。例如,添加一些氟化物或氧化物可以降低陶瓷的介電常數(shù)。

        另外,可以通過改變制備工藝來降低材料的介電常數(shù),例如,通過等離子體增強化學(xué)氣相沉積(PECVD)技術(shù)來制備低介電常數(shù)材料。

低介電常數(shù)材料應(yīng)用存在的問題

        雖然低介電常數(shù)材料具有各種優(yōu)點,但在實際應(yīng)用中需要提前知悉使用低介電常數(shù)材料的相關(guān)風(fēng)險。

        與二氧化硅相比,低介電常數(shù)材料有較低的密度和松軟的結(jié)構(gòu),使其更容易受到外部力量的破壞。此外,由于其熱傳導(dǎo)性能較差,不利于內(nèi)部熱量的散發(fā);同時,它的熱膨脹系數(shù)也與金屬不匹配,可能導(dǎo)致分層和裂紋的產(chǎn)生。另外,低介電常數(shù)材料與金屬層之間的機械強度存在差異,這也易導(dǎo)致分層和裂紋的出現(xiàn)。最后,Cu易擴散進入低介電常數(shù)材料的孔隙中,從而影響芯片的可靠性。

低介電常數(shù)材料的失效分析難點

        同樣基于低介電常數(shù)材料的材料特點,在對低介電常數(shù)材料進行失效原因分析的時候容易由于分析設(shè)備電子束直接造成對樣品的傷害,導(dǎo)致無法有效分析其失效原因。

        其中有效的解決方法包括:

        1.   涂層Pt可改善樣品導(dǎo)電性,減弱荷電效應(yīng);

        2.   降低SEM觀察電壓,減小高能電子束輻射損傷和荷電效應(yīng);

        3.   減小工作距離,可提高圖像分辨率,彌補電壓降低的不利影響;

        4.   減弱束流,弱化電子束的短時轟擊損傷;

        這些措施可以幫助保護樣品,同時提高圖像質(zhì)量。

        根據(jù)我們的研究結(jié)果,我們可以得出以下結(jié)論:

        1.   低電壓電流對低介電常數(shù)材料造成的損傷相對較小。在實驗過程中,我們發(fā)現(xiàn)使用低電壓電流進行操作可以有效地減少low-k材料的損傷程度,在相關(guān)失效分析操作中需要盡可能減低電壓與電流;

        2.   表面dep層可以有效地保護低介電常數(shù)材料不受損壞。通過在low-k材料表面添加dep層,可以形成一個保護層,有效地隔離試驗本身對材料的影響;

        3.   經(jīng)過Cu plating及Cu CMP工藝處理的樣品中,由于應(yīng)力和熱膨脹系數(shù)不匹配等原因,多孔低介電常數(shù)材料會出現(xiàn)明顯的孔擴大現(xiàn)象,可以用于分辨低介電常數(shù)材料與普通的二氧化硅材料。



主站蜘蛛池模板: 亚洲av无码第一区二区三区| 久久久99精品免费观看| 国产成人无码区免费网站| 人妻少妇久久久久久97人妻| 亚洲av无码一区二区三区性色| а√资源新版在线天堂| 精品国产国偷自产在线观看| 最新精品国偷自产在线| 亚洲精品一品区二品区三品区| 日日摸日日碰夜夜爽无| 免费无遮挡无码永久视频| 无码综合天天久久综合网| 国产成人无码aⅴ片在线观看| 一本久久a久久精品亚洲| 色欲香天天综合网站| 日韩精品久久久久久久电影蜜臀| 在线观看免费人成视频| 国色天香成人网| 日本午夜精品一区二区三区电影 | 免费女人高潮流视频在线观看| 欧美xxxx色视频在线观看| 国产三级片在线观看| 麻豆久久久9性大片| 妺妺窝人体色www看美女| 国产精品无码一区二区在线看| 精品一卡2卡3卡4卡新区在线| 激情内射亚州一区二区三区爱妻| 欧美精品videosbestsex日本| 人妻少妇偷人精品无码| 午夜精品一区二区三区免费视频| 日产精品99久久久久久| 亚洲精品无码mv在线观看| 久久天天躁夜夜躁狠狠| 午夜成人鲁丝片午夜精品| 狠狠爱无码一区二区三区 | 国产av人人夜夜澡人人爽| 亚洲小说乱欧美另类| 无码人妻熟妇av又粗又大| 亚洲日本在线电影| 亚洲日韩成人av无码网站| 国产精品福利在线观看无码卡一|